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三維XYZ向壓電納米定位臺為小體積1~3維壓電定位臺，平臺內部采用無摩擦、無空回的柔性鉸鏈導向機構，采用有限元仿真分析優 化，柔性導向系統具有超高的導向精度，具有高剛性、高負載、無摩擦、免維護等特點。壓電定位臺具有好的控制精度，分辨率和穩定 性可以達到納米量級，定位穩定時間僅為毫秒量級，壓電定位臺為無磁材質，使用過程中不受磁場的影響，壓電平臺體積小、結構緊湊易 于集成。
特性：
1~3維自由組合
• 位移行程8μm • 大承載0.8kg • 重復定位精度可達納米級
• 亞毫秒響應時間
1-3維平移臺
P63系列壓電納米定位臺，包括X、Z、XY、XZ、 XYZ多種運動方式可選。超小體積易于集成配套。
典型應用
• 顯微成像 • 納米定位
• 生物技術 • 半導體技術
• 質量保證測試 • 微車削
• 原子力顯微鏡
小體積、高精度、響應速度快
P63系列壓電納米定位臺重要的特點是超級精密 且體積非常小巧，尺寸僅為30×24×42mm（X軸尺寸 為30×24×21mm），易于集成到任何掃描儀器中。
P63系列納米定位臺是超高精密納米定位系統，是 為AFM、SPM、STM等顯微掃描納米操作等應用而設 計的，具有超低慣性，響應時間可達0.3ms，可配置 高精度閉環傳感器進行高分辨率高速掃描。
應用實例
P63三維納米定位臺已經應用于基于SEM在線納米切削平臺切削 力測試實驗中。
三維XYZ向壓電納米定位臺技術參數：
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型號 |
尾綴S-閉環 尾綴K-開環 | P63.X7S P63.X7K | P63.Z7S P63.Z7K | P63.XY7S P63.XY7K | P63.XZ7S P63.XZ7K | P63.XYZ7S P63.XYZ7K |
單位 |
| 運動自由度 | X | Z | X、Y | X、Z | X、Y、Z |
| |
| 標稱行程范圍（0~120V） | 5.5 | 5.5 | 5.5/軸 | 5.5/軸 | 5.5/軸 | μm±20% | |
| 大行程范圍（-20~150V） | 8 | 8 | 8/軸 | 8/軸 | 8/軸 | μm±20% | |
| 傳感器類型 | SGS/- | SGS/- | SGS/- | SGS/- | SGS/- |
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| 閉/開環分辨率 | 0.2/0.1 | 0.2/0.1 | 0.2/0.1 | 0.2/0.1 | 0.2/0.1 | nm | |
| 閉環線性度 | 0.2/- | 0.2/- | 0.2/- | 0.2/- | 0.2/- | %F.S. | |
| 閉環重復定位精度 | 0.1/- | 0.1/- | 0.1/- | 0.1/- | 0.15/- | %F.S. | |
| 俯仰/偏航/滾動 | <5 | <5 | <10 | <10 | <15 | µrad | |
| 推/拉力 | 10/2 | 12/2 | 8/2 | 9/2 | 7/2 | N | |
| 運動方向剛度 | 1.5 | 2 | X1.2/Y1.4 | X1.2/Z1.5 | X0.9/Y1/Z1.2 | N/μm±20% | |
| 空載諧振頻率 | 2 | 2.5 | X1.3/Y1.9 | X1.5/Z1.6 | X0.9/Y0.95/Z1.2 | kHz±20% | |
| 閉/開環空載階躍時間 | 1.5/0.3 | 1.5/0.3 | 1.5/0.3 | 1.5/0.3 | 1.5/0.3 | ms±20% | |
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閉環空載 工作頻率 | 10%行程 | 1000 | 1000 | 500 | 500 | 200 |
Hz±20% |
| 行程 | 200 | 200 | 100 | 100 | 50 | ||
| 大承載 | 0.8 | 0.8 | 0.5 | 0.5 | 0.4 | kg | |
| 靜電容量 | 0.8 | 0.8 | 0.8/軸 | 0.8/軸 | 0.8/軸 | μF±20% | |
| 材質 | 鋁 | 鋁 | 鋁 | 鋁 | 鋁 |
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| 重量 | 70 | 70 | 120 | 120 | 160 | g±5% | |
以上參數是采用E00系列壓電控制器測得。
